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分流檢測法
儀器最小可檢漏率測量
儀器有效最小可檢漏率測量按要求進行。
連接被檢件應(yīng)符合下列要求:
連接被檢件,根據(jù)被檢件容積的大小選擇配置相適應(yīng)的檢漏系統(tǒng),標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)安裝在被檢件真空閥一端;
在被檢件真空閥和檢潘閥未開啟的狀態(tài)下啟動真空機組及檢漏儀,打開檢測閥和分流閥,在抽氣管路達到穩(wěn)定真空后,打開檢漏閿和被檢件真空閥。
緩慢調(diào)節(jié)分流閥,維持檢漏儀工作壓力穩(wěn)定。
系統(tǒng)有效最小可檢漏率測量應(yīng)符合下列要求:
a)打開檢測閥,當(dāng)真空計指示壓力小于被檢件真空夾層壓力后,打開被檢件真空閥,分流閥狀態(tài)符合規(guī)定;
b) 按要求進行測量。
被檢件檢漏應(yīng)符合下列要求:
a)打開被檢件真空閥、檢測閥,檢漏閥狀態(tài)應(yīng)符合規(guī)定,分流閥保持不變,記錄本底指示值I。
b)將氮氣罩套在真空絕熱深冷設(shè)備上,且進行密封。
c)氦氣罩及內(nèi)容器充入已知濃度的氦氣,一般情況下,充氣后氦氣的濃度應(yīng)不低于10%。
d)估算氦氣罩內(nèi)氦氣的濃度,并記錄氦氣濃度。
e)在規(guī)定的觀察時間內(nèi)讀出并記錄檢漏儀輸出指示值、觀察時間一般不少于10min;測量完畢,關(guān)閉被檢件真空閥。

 

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